本实用新型公开了一种镧热还原法制备的金属靶材装置，包括
稀土氧化物，金属镧碎屑，不锈钢模具，坩埚，真空还原炉，靶模，其特征在于所述不锈钢模具中设有
稀土氧化物与金属镧碎屑的混合物，且稀土氧化物：金属镧碎屑的比例为1:1.2‑1.5；所述混合物在不锈钢模具中被1000×10
5Pa‑10000×10
5Pa的压制压力压制成块状，形成成型板坯；所述板坯设置在坩埚中，坩埚放置在真空还原炉中；且靶模位于坩埚的中央顶部，在靶模口处固定广口收集器，且靶模倒置固定在真空还原炉顶部；该装置可以缩短生产流程，减少金属氧化环节，模具可多次使用，节约材料，支撑的金属靶材密度高，密度均匀，成本低，易加工等优点，完全能够满足OLED屏幕使用要求的密度与纯度，内含杂质少。
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“镧热还原法制备的金属靶材装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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