本实用新型提供一种氮化硅生产用真空烧结炉，包括炉体，炉体的一侧密封铰接有炉门，炉体的一侧设有第一抽气管，第一抽气管的内部设有密封盖，第一抽气管上设有第二抽气管，第二抽气管的另一端连有抽气泵，炉体的顶部一侧设有氮气罐，氮气罐上连有氮气输送管，氮气输送管的另一端转动连接有第三管道，第三管道的另一端伸入到炉体的内部并与氮气布气管连通，氮气布气管的下侧设有多个布气支管，布气支管上设有若干出气口，炉体的顶部另一侧设有出气管，出气管上设有排气阀，出气管的另一端伸入到炉体顶部设有的水箱中，水箱的内部设有第一管道，第一管道的一端与出气管相连，第一管道的另一端连有第二管道，第二管道的另一端位于水箱的外部。
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来源：北方有色网
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