本发明公开了一种高精度薄膜压力传感器，包括圆形膜片，支撑座，弹性体，传力柱和外壳，其特征在于：弹性体是采用溅射薄膜技术制造的，当所述圆形膜片受到压力作用时，均匀分布的压力通过所述传力柱集中并传递到所述弹性体的中心梁上，弹性体上的四个应变电阻阻值发生变化，惠斯电桥失去平衡。由于将分散力集中作用在弹性体上，传感器的灵敏度系数提高，非线性误差减小，传感器综合精度得到提高。另外，受力膜片与弹性体之间通过传力柱接触，弹性体对温度的敏感性降低，传感器能在更低温或更高温的环境下工作，拓展了传感器的工作温度范围。产品在军工、机械、石化、汽车、食品、制药、冶金等领域得到广泛应用。
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来源：北方有色网
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