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三氯硅烷的制备

1064   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:50:29
本发明提供一种通过冶金硅(mg-Si)与Si的反应制备三氯硅烷(TCS)的方法,其包括使用钛含量高于0.06重量%的mg-Si。
声明:
“三氯硅烷的制备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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