本发明涉及
真空泵技术领域,特别是一种直排大气的多级罗茨真空泵。该泵具有主从动轴、主从动转子、主从动齿轮,主动齿轮、主动转子安装在主动轴上,从动齿轮、从动转子安装在从动轴上,泵体采用多级相连结构,随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔,每两个泵腔之间有级间隔板分开,并通过级间气流通道相连。本发明解决现有技术中一次性投入大、加工难度大、极限真空低、消耗功率大、不能直排大气、不能用于IC装备的不足。本发明在抽气过程中可保持真空环境不受污染,适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。
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“直排大气的多级罗茨干式真空泵” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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