本发明提供一种溅射靶材用硅硼母合金及其制备方法，硅硼母合金为采用高纯硅粉和高纯硼粉为原料，依次经高能球磨、造粒后采用
粉末冶金压制成形技术和真空烧结制备的所得产物。本发明制备的硅硼母合金中具有含硼量高、颗粒分布均匀、杂质含量低、粉末活性高、易于掺杂等特点，并且，掺杂该种硅硼母合金制备的
多晶硅靶材，较制备的硅靶材具有产品出成率高，电阻率分布均匀等特点。
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来源：北方有色网
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