本发明提供了一种
铝合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括：按照靶材的元素比例进行金属单质粉末的混合，将混合后的粉末装入包套中进行冷压成型；然后将包套进行焊接、脱气；将脱气后的包套进行一次热等静压处理，得到成型靶坯；将成型靶坯进行真空热处理，然后再次装入包套进行焊接、脱气；将脱气后的包套进行二次热等静压处理，得到铝合金靶材。本发明所述方法采用
粉末冶金法来制备合金靶材，通过采用粉末混合、冷压、两次热等静压处理，以及两次热等静压之间进行的热处理，有助于合金靶材中组织结构的优化，使得晶粒组织细小且分布均匀，不存在成分偏析，致密度高，机械加工性能优良，能够满足溅射用靶材的使用要求。
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来源：北方有色网
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