仿生硅化钼梯度叠层复合纳米涂层制备工艺，利用双阴极等离子溅射沉积法，在钛合金工件表面形成致密的纳米晶硅化物层，其中对双阴极等离子溅射工艺参数进行了选择，溅射的靶材种类：成分配比为Mo0.35-55(Si0.95,Al0.05)0.65-45
粉末冶金烧结板为靶材；工件材料的种类：钛合金。该梯度复合纳米晶硅化物涂层具有高韧性、高硬度以及优异的耐腐蚀性，能明显提高钛合金的耐磨性、耐腐蚀性能和抗氧化性能。
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来源：北方有色网
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