本发明公开一种基于共格外延强韧化ZrOxNy/V2O3纳米多层结构涂层及其制备方法。本发明的所述ZrOxNy/V2O3纳米多层结构涂层是在控制N2/Ar流量比为0～30:30的条件下，由Zr金属靶材和VO2
粉末冶金靶材在基底上交替进行反应磁控溅射沉积形成。本发明获得的ZrOxNy/V2O3纳米多层结构涂层的硬度稳定在10.1～11GPa左右，最佳断裂韧性值为0.879MPa·m1/2，表现出较好的韧性性能。可用在切削工具、机械摩擦部件的表面防护，从而提高刀具及部件表面性能和使用寿命。其制备方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等优点。
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来源：北方有色网
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