目前国内外用于制备氧化物薄膜的技术虽然各具优点,但大多存在成本高、工艺繁琐、不易涂覆形状复杂和尺寸较大的工件等一些缺点,因此现有涂覆技术的推广和应用均受到一定程度的限制。为此,本发明提出了一种新型的
电化学沉积-热解烧制工艺,实现了各种氧化物薄膜的制备。本发明不仅克服了PVD、CVD等技术的许多缺点,而且具有工艺简单、经济可靠、易于自动化等一些优点;此外,本发明还适于冶金、机械、电子、光学等多种技术领域。
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来源：北方有色网
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