本发明涉及通过金属和合金的热蒸发进行真空 淀积的方法和设备。所提供的设备(图1)包括具有熔融材料(液 态金属)(2)的熔化坩埚(1)、位于真空室(5)中的蒸发设备(4)的一 个或几个坩埚(3)、热液态金属管道(6)，所述液态金属管道(6) 通过具有静态熔化压强的磁流体动力(MHD)回路(7)连接所述 熔化坩埚和所述蒸发坩埚。所述回路(7)设有MHD泵(8)，并包 括液态金属管道(6)中临近MHD泵的部分、液态金属管道(9、 10)和(11)、加热储液器(13)。加热储液器(13)通过液态金属管道 (11)连接到液态金属管道(6)中MHD泵之前的部分，并通过液 体金属管道(10)连接到安装在管道(9)中的膨胀箱(12)。储液器 和膨胀箱中熔体上方的空间通过管道(14)互连并连接到
真空泵 系统(未示出)。在膨胀箱中安装有两个熔体高度L的传感器 (15)。膨胀箱中和蒸发器中的熔体水体L要比MHD回路储液 器中的熔体高度L0高Δh。即， MDH泵需要提供压强Δh。本发明的技术方案能够在长期工作 过程中增强金属与合金蒸发的稳定性，从而提高生产率。本技 术方案可用于电子、冶金、机械加工领域内的各种功能镀层。 使用本方法能够蒸发
锌、镁、隔、
锂、锌镁合金。
声明：
“通过蒸发金属和金属合金进行真空淀积的方法和设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
893
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
