利用氯化氢、冶金级或化学级硅原料的主反应的受污染副产物和/或改良西门子法的副产物制备高纯度三氯
硅烷(TCS)的方法,所述副产物包括含有低沸点杂质如二氯硅烷(DCS)的“不纯的”TCS和含有高沸点杂质的“不纯的”STC。首先将“不纯的”STC纯化,使一部分与含有DCS的“不纯的”TCS反应以生成向TCS纯化过程的附加的TCS原料。将另一部分纯化的STC氢化并再转化为TCS,从而提供向TCS纯化过程的另一原料。所生产的高纯度TCS的总的净产率相对于现有技术得到提高。
声明：
“生产三氯硅烷的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1128
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
