三栅极式离子渗镀设备及工艺属于表面冶金范畴。具体来讲是一种在金属、非金属固体基材表面形成镀层、扩散层和扩散层与镀层复合层的设备和工艺。其特征在于:在可以抽成真空容器中,同轴设置两个欲溅射元素靶栅极和一个欲沉积或被渗元素的工件栅极,既形成具有PLUME效应、“烧孔效应”的三栅极栅极结构。本设备配置三套高压直流电源,靶栅极和工件栅极分别接在各自直流电源的阴极,三个电源的阳极接在炉罩和炉底板上。系统工作时,利用三栅极PLUME效应、“烧孔效应”的溅射轰击加热作用,实现欲渗元素(金属或非金属的)在工件基材表面(金属或非金属的)的沉积或渗入。
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来源：北方有色网
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