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镍铂合金溅射靶材及其制备方法

949   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:45:26
本发明公开了一种铂合金溅射靶材及其制备方法,其技术方案是:包括铂粉和镍粉,所述铂粉和镍粉质量份数为:铂粉05‑65份,镍粉35‑95份。包括以下步骤:S1:将铂粉和镍粉混合均匀,并过滤大颗粒杂质,保留大小均等的粉末状颗粒;S2:将S1中过滤后保留下来的粉末颗粒倒入酒精内浸泡清洗,一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法有益效果是:通过使用粉末冶金的方式,区别于传统的熔炼方法,粉末冶金得到的镍铂合金靶材具有更好的致密度,在实际使用测试中,其与基材拥有更好的附着性能,使用更加方便可靠,同时粉末冶金相对于传统熔炼方法,使得其制备成本大大降低,制备步骤得到极大优化,提高了制备效率,简化了制备流程,从而提高其经济效益。
声明:
“镍铂合金溅射靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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