本实用新型公开了一种
多晶硅定向提纯炉，属于多晶硅的提纯领域，用以解决多晶硅熔炼过程中的高温挥发性杂质对多晶硅定向提纯炉、
真空泵组造成损害的问题。本实用新型包括炉体和真空抽气装置，所述真空抽气装置包括真空管路、安装在真空管路上的比例阀和滑阀泵，真空管路上设置换热器和过滤器，换热器、过滤器、比例阀和滑阀泵按照炉体内气体排出方向依次设置。其解决了炉体内高温挥发性杂质高温、沉积从而对炉体的造成损害的问题，延长了整个设备的使用寿命。
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来源：北方有色网
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