本发明涉及一种
铜合金靶材的制造方法,其包括:形成一靶材初坯;以及将靶材初坯在500-850℃区间进行热机处理或热退火处理,以令所制成的靶材中化合物相小于整体靶材面积的25%。本发明涉及一种
铜合金靶材;本发明还涉及一种薄膜,其是使用如上所述的铜合金靶材经由溅镀所形成的;本发明另关于一种
太阳能电池,其包含如上所述的薄膜。通过本发明(近)单相组织的铜合金靶材,使其应用于溅镀过程中不会诱发微电弧现象,而且也因着靶材(近)单相组织,使得靶材表面各处的溅镀速度相等,促使形成的薄膜成分均匀,故能提升薄膜质量及良率。
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“铜合金靶材、其制造方法、及其制成的薄膜及太阳能电池” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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