江苏苏州有色金属理论与应用

制备海绵状石墨烯的方法 1016     

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本发明涉及一种制备海绵状石墨烯的方法，包括如下步骤：采用冻干法，以氧化石墨为原料，制备得到海绵状的氧化石墨烯作为前驱体；将制得的前驱体放入坩埚中，然后将坩埚放入微波真空烧结炉内，抽真空后用微波进行辐照，得到海绵状石墨烯。本发明得到的海绵状石墨烯具有疏松多孔的独特结构，使得其在超级电容器、储氢材料、传感器、吸附材料等领域有着广阔的应用前景。本发明中基于高能微波的辐照模式，瞬间将微波能转化为样品的内能，并通过剧烈的分子热运动，使得氧化石墨烯上的含氧基团被还原为气体并迅速挥发逸出，从而还原得到石墨烯，并可继续保持疏松多孔的海绵状聚集结构。

多孔钛的制备方法 881     

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本申请公开了一种多孔钛的制备方法，包括步骤：(1)对钛粉末进行球磨，磨球直径4～6mm，球料比为(7～10)：1，球磨转速500～600转/min，球磨时间5～7小时；(2)、钛粉末和造孔剂的质量比为1 : (1～1.5)，真空环境下进行烧结：以0.3～0.5℃/min升温至200～250℃，保温烧结50～60分钟，除去造孔剂；(3)、高温烧结工艺：将真空烧结炉抽真空，充入3×103～4×103Pa的氩气，烧结温度1250～1350℃，烧结时间100～120分钟；(4)、改性处理，将获得的材料加入氢氧化钠溶液中，在50～60℃条件下保温18～24小时，然后用去离子水冲洗，最后烘干。本发明制备获得的多孔钛，孔隙大小分布在350μm左右，孔隙率50％左右，抗压强度60MPa，弹性模量1.8GPa。制备的多孔钛无细胞毒性，不会对组织细胞产生不利影响。

桥梁用复合金属材料的生产工艺及应用 962     

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本发明公开了一种桥梁用复合金属材料的生产工艺及应用，采用先将三氧化四铁、氧化铝、钕粉、硫化锗、二叔戊酰甲烷铈、鳞片石墨进行研磨混匀、湿法球磨、真空干燥得真空干燥混合物，随后将甲氧基乙酸甲酯、马来酸酐接枝聚丙烯、聚二甲基硅氧烷、聚乙烯吡啶进行超声震荡后加入前述真空干燥混合物再次超声震荡，配以经搅拌处理的呋喃甲醇、乙二酸钠、偏苯三酸酐进行混炼，最后冷压成型、真空烧结得到成品的生产工艺，使得制备而成的桥梁用复合金属材料的抗拉强度和抗压强度优异，且耐腐蚀性能强，能够满足行业的要求，具有良好的应用前景。同时，还公开了该生产工艺的具体应用范围。

碳纤维刹车片复合材料的制备方法 1000     

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本发明提供了一种碳纤维刹车片复合材料的制备方法，先取乙撑双硬脂酰胺，加热至150～170℃，加入碳纤维，搅拌，冷却，加入聚乙烯亚胺、甘油、甲基丙烯酸二甲胺基乙酯、卵磷脂、环氧树脂，加热保温，搅拌，冷却至室温，得改性碳纤维；再取硬脂酰乳酸钠、烯酰胺、过硫酸铵、石蜡、二氧化硅，加热保温，搅拌，冷却至室温，得混合物A；然后将改性碳纤维、混合物A混合，烘干、球磨，得到混合物B；最后将所得混合物与石墨粉、氧化钛粉末、铁粉、镍粉、甲基硅油、聚碳酸酯混合均匀，在真空烧结炉中进行烧结后，即得。本发明提供的碳纤维刹车片复合材料具有良好的摩擦制动性能。

钽电容阳极块的烧结方法 1118     

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一种钽电容阳极块的烧结方法，其特征在于所述烧结方法包括：将混合粘结剂的钽粉压制成的钽阳极块装入注有脱脂溶剂的干燥炉中，进行密闭低温溶剂催化湿法脱蜡，然后进行真空干燥，再进行真空烧结。经本发明得到的钽阳极块保持了其高比表面积和高孔隙度，因而比容量高，漏电流小，其碳、氧含量可分别降至0.005％～0.010％、0.18％～0.65％。

MIM金属注射成型的工艺 1194     

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本发明提供了一种MIM金属注射成型的工艺，属于金属注射成型工艺技术领域。本发明通过金属粉末的制备、捏合造粒、注塑成型、催化脱脂和烧结处理，得到了质量稳定、精度更高的注射成型件。本发明的工艺方法简单易行，对金属粉末和粘合剂进行捏合处理后，提高了金属粉末之间的粘附性，催化脱脂后的坯件不鼓泡、不开裂，质量较高。对脱脂后的坯件分别进行真空烧结和分压烧结，提高了产品的致密度及精度，不需要额外使用研磨设备，生产效率高。

烧结金属纤维过滤材料及其制备方法 1117     

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本发明公开了一种烧结金属纤维过滤材料，包括至少两层烧结金属纤维毡，各层烧结金属纤维毡沿流体流入的方向孔径由大到小逐层递减，其制备方法为：先把剪切出短纤维；再将短纤维投到布毡机的喂料装置中，利用气流沉积的原理制成松软的金属纤维毡，然后将其压实；然后把两到四层不同单位毡重和过滤精度的金属纤维毡按照过滤精度从小到大的次序叠加在一起形成复合金属纤维毡，然后将复合金属纤维毡装入真空烧结炉中烧结，相邻两复合金属纤维毡之间设置烧结隔离材料，烧结完成后，冷却降温；最后把烧结为一体的金属纤维毡平整并压制到一定的厚度即可，本发明所得多层结构的烧结金属纤维过滤材料，其具有过滤精度高，纳污能力强和通量大等特点。

用于精密零件MIM成型的材料 1225     

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本发明属于金属零件加工领域，特别涉及一种用于精密零件MIM成型的材料。包括以下制备步骤：S1混料：将不锈钢粉末和铌粉末混合，构成待加工混料；S2注射成型：将待加工混料加热至熔融状态，然后冷却成固体混料；S3脱脂：对固体混料进行脱脂处理，去除其内部粘接剂；S4烧结：对脱脂后的固体混料进行真空烧结，使其快速收缩，从而致密化形成最终成品材料。通过金属粉末成型烧结的方法解决了传统加工方法生产精度差，加工周期长的问题，同时无需投入大批量高精度加工设备，节省成本。

耐冲击金属复合板及其制备方法 883     

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本发明涉及一种耐冲击金属复合板及其制备方法，由耐冲击金属复合材料与硅混合组成，通过球磨、称量并混合、真空烧结、酸洗、层叠后，经热挤压制得。本发明所述的耐冲击金属复合板及其制备方法，耐冲击力强，成本低，稳定性好，不易分裂，无污染，局限性小，而且制作工序少且短。

内含螺旋孔的轻质合金棒生产工艺 966     

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本发明公开了一种内含螺旋孔的轻质合金棒生产工艺，其包括以下步骤：球磨，将合金棒的原料导入球磨机，进行球磨处理；挤压成型，通过挤压模具得到内含螺旋孔的轻质合金棒，挤压模具中导入水溶性纤维绳，挤出过程中进行轻质合金棒的旋转，实现水溶性纤维绳在轻质合金棒中的螺旋分布；预热，将轻质合金棒放入蒸箱内，通入蒸汽，进行轻质合金棒的预热，使得水溶性纤维绳溶解，在轻质合金棒中得到螺旋孔；烧结脱脂，采用真空烧结脱脂设备进行轻质合金棒的烧结脱脂。本发明所述的内含螺旋孔的轻质合金棒生产工艺，在轻质合金棒得到通透的螺旋孔，避免了螺旋孔的坍陷问题，产品的合格率高，得到的轻质合金棒的自重轻，冷却效果好。

粉末冶金齿轮的制造方法及粉末冶金齿轮 1123     

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本发明提供一种粉末冶金齿轮的制造方法以及粉末冶金齿轮，其制造方法包括以下步骤：按照质量份将铁粉96.8‑99份、铜粉3‑4份、石墨粉0.6‑1份、聚醚改性硅油0.2‑0.8份、聚乙二醇0.5‑1份和润滑剂0.3‑0.6份混合均匀得到混合物料；将混合物料压制为毛坯件；将毛坯件在380‑560℃下预热2‑3小时；将预热后的毛坯件放入真空烧结炉中，加热至900‑1180℃烧结；将烧结好的毛坯件放入防护油浸泡，取出毛坯件晾去多余的防护油；按照齿轮要求对毛坯件的尺寸进行调整，以及倒角、毛刺处理、磨齿、压轴。本发明的有益效果：过程工序减少，加工周期缩短，耗费能源减少；制得的齿轮硬度大，抗磨损性能好。

玻璃陶瓷复合材料及其制备方法 927     

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本发明提供了一种玻璃陶瓷复合材料及其制备方法。由以下步骤制成：将纳米碳黑、牛粪生物炭和硅微粉混合研磨；加入蔗糖脂、聚乙二醇和去离子水搅拌，干燥，过筛；加入去离子水、无水乙醇和聚乙烯醇球磨，喷雾干燥形成复合球形颗粒；干压成型后用塑料薄膜包封，冷等静压成型；置于石墨坩埚中烧结得粉料A；将二氧化硅、六方氮化硼、白榴石粉、硼酸、氧化钡和去离子水混合球磨；烘干后过筛，烧结得玻璃粉料；将粉料A、玻璃粉料和去离子水混合球磨，过筛；加入润滑剂、丙烯酸、木糖醇和纳米二氧化钛继续研磨；压制成型；放入真空烧结炉烧结，自然冷却即得。本发明的玻璃陶瓷复合材料具有较高的介电常数和很好的力学性能，抗弯强度高。

氧化铝-氮化硼陶瓷粉体的制备方法 810     

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本发明公开了一种氧化铝‑氮化硼陶瓷粉体的制备方法，包括：(1)将硼酸和尿素按照一定物质的量之比为1:2～10混合，加入无水乙醇，球磨6～8h后置于950～1200℃的氮气气氛中保温2～4h，得到氮化硼粉末；(2)将氧化铝纳米颗粒和上述氮化硼粉末按照质量之比为80～85:15～20进行混合，加入烧结助剂CaF₂，混合均匀，再加入无水乙醇，球磨8～10h，得到氧化铝‑氮化硼混合粉末；(3)将上述氧化铝‑氮化硼混合粉末置于真空烧结炉中，于温度为1200～1600℃、压力为20～30MPa的氩气气氛中煅烧3～5h，得到氧化铝‑氮化硼陶瓷粉体。本发明中的制备方法简单，通过该方法制得的氧化铝‑氮化硼陶瓷粉体，颗粒分散均匀，具有致密性好的优点。

环保耐磨自润滑轴承材料板制备方法 1220     

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本发明公开了一种环保耐磨自润滑轴承材料板，由底层、中间层和表层自下而上叠加而成，所述底层为0.5-3.0mm厚的08F冷轧钢板，所述中间层为0.1-0.3mm厚的锡青铜粉，所述表层为0.01-0.06mm厚的改性聚四氟乙烯材料；其制备方法如下：（a）首先通过常规电镀工艺对钢板进行镀铜；(b)接着采用网带烧结炉烧结铜粉；（c）然后采用真空烧结炉烧结改性聚四氟乙烯层；(d)最后采用通用轧机进行精密轧制。本发明的优点是，这种环保耐磨自润滑轴承材料板制备方法使纯聚四氟乙烯变为改性聚四氟乙烯，符合环保要求，适应干摩擦条件要求，摩擦系数0.3，磨痕宽度小于6mm，比纯聚四氟乙烯耐压性提高5-10倍，耐磨性提高1000倍，线性膨胀系数降低80%，导热性提高5倍，适于广泛运用。

多孔钛铌合金及其制备方法 1250     

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多孔钛铌合金及其制备方法,其钛铌合金,按重量百分比计,成分为Nb35%,余为Ti;其制备方法,其步骤为:(1)选Ti和Nb的纯度为99.9%,球形尿素作为发泡剂;(2)称取65%的Ti粉和35%Nb粉;(3)将称量好的原料粉装入球磨罐,充入氩气保护,然后混合均匀;(4)粉末混好后,取出粉末将其放进一个容器内,加入重量为Ti、Nb粉末重量25%~62.5%的尿素,混合均匀;(5)将第(4)步的混合粉料倒进模具中,用压力机在200MPa的压力下压制并保压5分钟;(6)取出压制的样品,将其放入烘箱在170℃保温2小时,然后将其放到真空烧结炉中,抽真空至10-5～10-6Torr,再加热至1200℃保温6小时进行烧结,冷却到室温即可取出,得到多孔钛铌合金,孔径为200～500μm,孔隙率在50～70%。

添加没食子酸丙酯复合金属材料的生产工艺及应用 1207     

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本发明公开了添加没食子酸丙酯复合金属材料的生产工艺及应用，采用先将铝粉、钛合金、膨润土、磷酸二氢钾进行研磨混匀、湿法球磨、真空干燥得真空干燥混合物，随后将羧基丁腈橡胶粉末、没食子酸丙酯、双酚A型环氧树脂、壳聚糖进行超声震荡后加入前述真空干燥混合物再次超声震荡，配以经搅拌处理的4?叔丁基苯磺酰胺、甲基三甲氧基硅烷、乙二胺四乙酸、十六烷基三甲基溴化铵、聚氧丙烯甘油醚进行混炼，最后冷压成型、真空烧结得到成品的生产工艺，使得制备而成的添加没食子酸丙酯复合金属材料具有优异的缺口冲击强度，且阻燃性能好，能够满足行业的要求，具有良好的应用前景。同时，还公开了该生产工艺的具体应用范围。

多孔钛涂层、含钛多涂层、其制备方法及应用 804     

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本发明公开了一种多孔钛涂层、含钛多涂层、其制备方法及应用。该多孔钛涂层具有主要由固定于植入体基体表面的钛材料颗粒之间的间隙与钛材料颗粒内的微孔连通形成的开放式多孔结构，并且该多孔结构的孔径为20~700μm；其制备方法包括：将钛材料颗粒涂覆于植入体基体表面，并在低于1000℃的温度下真空烧结形成前述多孔钛涂层。该含钛多涂层包含前述多孔钛涂层。本发明的涂层孔隙率高，其中的孔道具有较宽孔径分布范围，更利于骨细胞的长入从而实现生物固定，且涂层与基体材料的结合强度更高；同时因烧结温度低，对基体材料的物理化学、机械力学性能的稳定性无影响；并且其制备工艺简便，成本低廉，可控性强，适于规模化生产。

石墨烯强化钢铝异种材料焊缝的焊接方法 756     

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本发明公开了一种石墨烯强化钢铝异种材料焊缝的焊接方法，包括以下步骤：(1)：按质量比例取一定量的镍粉和石墨烯粉，进行球磨混合，混合均匀后得到镍/石墨烯混合粉；(2)：将混合均匀的镍/石墨烯混合粉放在压机用模具中，压成镍/石墨烯块体坯料，将压制好的坯料通过真空烧结的方式制备出镍/石墨烯复合材料；(3)：将镍/石墨烯复合材料轧制成一定厚度的镍/石墨烯复合箔材；(4)：按待焊接板材的厚度选取相同厚度的镍/石墨烯复合箔材并将其裁切成所需的焊接尺寸，然后夹紧在处理干净待焊接的钢材和铝合金之间；(5)：对钢材和铝合金进行焊接，得到石墨烯增强的钢铝异种材料焊缝，该方法能够提高焊接接头的强度和韧性。

增韧Ti（C，N）基金属陶瓷复合材料的制备工艺 813     

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本发明公开一种增韧Ti（C，N）基金属陶瓷复合材料的制备工艺，包括以下步骤：先按比例称取碳纳米管放入辉光放电等离子炉中进行放电处理获得改性后的碳纳米管；将改性后的碳纳米管放入极性溶剂中，此极性溶剂中放入1～5‰的山梨糖醇酐三硬脂酸酯作为表面分散剂；将充分分散的含碳纳米管的溶剂与金属陶瓷复合粉配制形成混合物，将此混合物放入行星式球磨机中进行球磨形成球磨后混合料，球料比为5：1～8：1；制好的球磨后混合料经干燥掺入成型剂后压制成型毛坯，毛坯在真空烧结炉中烧结。本发明制备工艺获得的增韧Ti（C，N）基金属陶瓷复合材料硬度增加0.1～0.3HRA，抗弯强度（σb）增加10～20%，断裂韧性（KIC）增加15～25%。

废润滑油预处理后分离装置 889     

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本实用新型涉及一种废润滑油预处理后分离装置，包括废润滑油桶、板框过滤器、直流电处理罐、离心机、真空分离单元以及若干管道，废润滑油桶、板框过滤器、直流电处理罐通过管道依次连通，板框过滤器与直流电处理罐之间的管道上设置有分水剂加入管以及去离子水加入管，直流电处理罐的底部与离心机的顶部连接，真空分离单元包括加热区、真空分离器以及冷却区，加热区、真空分离器以及冷却区依次通过管路连接，冷却区的出口连接有真空泵，直流电处理罐顶部的上层油通孔、离心机中部的轻馏分出口通过管路与真空分离单元的加热区入口连接。能对废润滑油中的杂质、水和油进行有效分离。

铷铁硼磁石高精度烧结成型工艺 1282     

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本发明公开了一种铷铁硼磁石高精度烧结成型工艺，包括以下步骤:步骤一、将氧化铷、氧化铁和氧化硼分别研磨，制得混合粉末；步骤二、将步骤1中的混合粉末依次进行速凝甩带、氢爆、气流磨，制得磁粉；步骤三、将步骤2中的磁粉投入到热压成型机中；步骤四、将得到的铷铁硼磁体压坯投入到真空烧结炉中，本发明以氧化铷、氧化铁和氧化硼为主用原料，在真空烧结炉中进行三次阶梯式烧结且冷却后得到高磁性能、高密度以及防氧化的铷铁硼磁体成品。

具有复合合金层的内衬套及其制备方法 1267     

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本发明提供了一种具有复合合金层的内衬套及其制备方法，包括以下步骤：首先在具有至少一个孔的衬套毛坯内放置与孔相匹配的内模，以使衬套毛坯的孔与内模之间形成一型腔；在型腔内填充复合合金粉末后，两端通过隔热保温板封挡，放置在真空烧结炉内烧结，真空烧结炉内的温度加热至900摄氏度，保温后降温至常温；对烧结后的衬套毛坯机械加工，得到具有“8”字型双圆孔的内衬套成品，双圆孔的内壁成型有耐磨耐腐蚀的复合合金层。本发明通过采用合金粉末原料通过粉末冶金工艺和烧结工艺烧制的具有一层复合合金层的内衬套，相比通过离心浇铸工艺的方式在一般金属材质的孔内壁上形成的复合合金层更均匀，致密度更好，耐磨耐腐蚀性能更高。

高性能粉末冶金不锈钢及其制备方法 1205     

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本发明公开了一种高性能粉末冶金不锈钢，以重量百分比计的组成成分为：316L奥氏体不锈钢92.5-97.0%、FeB0.5-1.5%、FeMo601-3%、TiC1-3%，制备方法为将原料进行混料、球磨、压制成型、脱脂、真空烧结，得到高性能粉末冶金不锈钢。通过上述方式，本发明的高性能粉末冶金不锈钢及其制备方法，加入烧结助剂和强化相，使致密度得到极大的提高，具有极佳的耐腐蚀性、抗氧化性、较佳的综合力学性能，能用于制造承受一定负荷及对耐腐蚀性和抗氧化性有较高要求的设备或部件，在机械、化工、石油、海洋、轻工等多种领域广泛应用。

新型石墨片及其制作方法 939     

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本发明公开了一种新型石墨片及其制作方法，其由石墨烯组成，且其为卷状结构，其大小尺寸为400m×50m；该方法包括：将卷状结构的聚酯亚胺薄膜放置于圆桶内，并将圆桶放入真空烧结炉内；将真空烧结炉以每分钟2-5℃逐渐升温至3000℃，使聚酯亚胺薄膜在升温过程中逐渐脱氢、脱氧、脱氮；冷却至室温，获得产品。通过该方法形成了卷状的新型石墨片，打破了传统工艺的限制，使该石墨片的尺寸可达到400m×50m，不仅可以按照不同小尺寸的产品进行剪裁并应用，还可以使整卷应用于大型设备上，不仅提高了该石墨片的散热导热性能，还避免了操作过程中的复杂和不便，降低了操作人员的劳动强度，省时又省力。

用于不锈钢的粉末冶金材料及其制备方法 976     

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本发明属于粉末冶金领域，本发明公开了一种用于不锈钢的粉末冶金材料及其制备方法，所述的粉末冶金材料包括下述成分：Cr为12.5wt%-18.5wt%、Ni为8.6wt%-11.4wt%、C为1.2wt%-2.5wt%、Mn为0.3wt%-1.1wt%、Sb为0.5wt%-1.3wt%、Se为0.4wt%-0.7wt%、Si为0.5wt%-0.9wt%、余量为Fe；所述的粉末冶金材料的制备方法步骤如下：原料混合；原料球磨；成型压制；真空烧结；制备得到用于不锈钢的粉末冶金材料。

钽钌合金靶材及其制备方法 1173     

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本发明涉及一种钽钌合金靶材的制备方法，包括依次进行的如下步骤：将钽粉和钌粉混合均匀后进行冷等静压压成块状，然后真空烧结；真空烧结之后再进行真空电子束熔炼获得高纯钽钌合金锭；将高纯钽钌合金锭进行径向热锻和退火处理；接着进行纵向墩粗和退火处理；然后进行热轧、冷轧、再结晶退火处理；最后将高纯钽钌合金锭与背板焊接即得所述的钽钌合金靶材。本发明将钽钌合金锭进一步滴熔成纯度更高、氧含量更低的高纯钽钌合金锭，在这过程中，一些低熔点的杂质可以通过挥发而被除去；另外，本发明通过径向热锻、纵向墩粗、热轧、冷轧等步骤，使得钽钌合金锭的晶粒小于100微米。

低松装密度铜锌合金黄铜粉及其制备方法 893     

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本发明提供一种低松装密度铜锌合金黄铜粉及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：高压水雾化制备铜锌合金粉；利用高能球磨机将制备的铜锌合金粉与纯锌粉混合、搅拌、研磨；将研磨后的粉末进行真空烧结；利用粉碎机将烧结得到的铜锌合金粉破碎，然后筛选，得到所述低松装密度铜锌合金黄铜粉。本发明通过上述方法制备的铜锌合金黄铜粉的松装密度为1.5-1.8g/cm3，能够满足技术和市场的需要。

高性能17-4PH不锈钢及其制备方法 881     

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本发明公开了一种高性能17-4PH不锈钢，以重量百分比计的组成成分为：17-4PH不锈钢93.0-96.5%、FeB1.0-2.0%、Mo2.0-4.0%、VFe0.5-1.0%，制备方法为：将原料17-4PH不锈钢、FeB、Mo、VFe进行混料、球磨、造粒、压制、脱脂、真空烧结，得到高性能17-4PH不锈钢。通过上述方式，本发明的高性能17-4PH不锈钢及其制备方法，加入适量、成分合理的烧结助剂能使致密度得到极大的提高，具有极佳的耐腐蚀性和较佳的综合力学性能，能用于制造承受较重负荷及对硬度、耐磨性和耐腐蚀性有较高要求的设备或部件，在机械、军工、航空、核工业等多种领域广泛应用。

含AlN和TiB2的Ti(C,N)基金属陶瓷刀具材料及其制备方法 906     

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本发明公开一种含AlN和TiB2的Ti(C,N)基金属陶瓷刀具材料及其制备方法，材料包括以下质量百分比组分的原料：Ti(C0.5,N0.5)：40％～60％；WC：15％～35％；Mo2C：0.5％～10％；TaC或NbC或(Ta,Nb)C：2％～10％；TiB2：0～5％；AlN：0～5％；Co：0～15％；Ni：0～15％。制备方法包括湿磨、干燥制粒、模压成型和烧结，其中烧结过程分四段：低温段真空烧结、中温段N2分压烧结、高温段混合气体高压烧结、高温段真空烧结。所得的Ti(C,N)基金属陶瓷刀具材料具有优异的韧性、强度、耐磨性和抗氧化性，能显著提高刀具的切削稳定性和使用寿命。

光纤预制棒母棒的烧结装置 1116     

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本实用新型提供了一种光纤预制棒母棒的烧结装置，利用该装置烧结，可以解决真空烧结松散体时，石墨加热件被氧化的问题，且可以解决松散体烧结过程中气泡多和OH含量高的问题，从而获得气泡少和OH含量低的烧结芯棒。其包括真空烧结炉，所述真空烧结炉的腔体内布置有石英中心管、硅钼棒加热件、石墨保温层，所述石英中心管的顶部设置有保温层，引杆贯穿所述保温层后内伸至所述石英中心管的内腔内，所述引杆的下端通过连接套连接靶棒，所述靶棒用于松散体的沉积附着，所述石英中心管的对应于松散体沉积附着的长度方向的外环壁环布有所述硅钼棒加热件，所述硅钼棒加热件的外环部分设置有环布的石墨保温层。