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本发明涉及一种用于金属阻挡层的刻蚀溶液及方法。所述刻蚀溶液由硝酸、氢氟酸和水配制而成,所述硝酸、氢氟酸和水的体积比为硝酸:氢氟酸:水=0.5~1.5:1:0.5~2,所述硝酸的质量浓度为65%~70%,所述氢氟酸的质量浓度为45%~49%。本发明采用了新配方的刻蚀溶液,可以选择性地去除晶圆的钽、氮化钽、钛或氮化钛的金属阻挡层,然后采用机械研磨的方法,即可去除氧化层,得到均匀的下层金属层,提高了晶圆的平整性,满足晶圆不同层次精细分析的需要,提高了失效分析的能力和效率。
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多层卷绕钢丝绳-滑轮磨损试验装置是一种能够模拟起重机起升、变幅系统的实际运行工况,进行钢丝绳多层卷绕、钢丝绳-滑轮磨损试验的综合试验装置。试验装置包括试验台架、电气控制与数据采集处理装置,由设在控制室内的操纵台(上位机)集中操纵与控制,并进行检测数据的采集与数据处理。在试验台架中,多层卷绕装置的卷筒为双折线式多层卷绕卷筒,滑轮组支架为可移动式用以调整钢丝绳进入卷筒的偏角,多层卷绕装置减速器高速轴端连接有电涡流测功机作为模拟载荷。本发明试验效率高,试验所得数据准确,可用于起重机钢丝绳多层卷绕、多层卷绕钢丝绳疲劳失效试验、多层卷绕滑轮疲劳失效等研究。
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一种主备交叉连接模块保护性自动切换的方法,该方法检测主备用交叉连接模块输出给各个线路接口模块的信号,以表示当前主备用交叉连接模块工作正常或失效,主备用交叉连接模块相互检测对方的工作状态,当备用交叉连接模块检测到主用交叉连接模块工作状态不正常时,备用交叉连接模块自动切换为主用交叉连接模块,主备用交叉连接模块各自对自身工作状态进行检测,主用交叉连接模块在发现自身工作状态不正常时,自动将本模块切换为备用交叉连接模块,同时将原来的备用交叉连接模块切换为主用交叉连接模块,本发明的方法可以在出现故障时实现完全自动切换,并且可以增加设备的稳定性和切换的可靠性。
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本发明提供一种透射电镜样品的制作方法,属于半导体制造技术领域,包括:在待观测层上设置复数个位置标记;微透镜层上方的第一平面电镀铂金保护层;沿垂直于第一平面的方向对失效芯片切割得到具有失效点以及位置标记的待检测样品;将待检测样品上与第一平面相垂直的第二平面粘贴于第一承载基体上;沿垂直于第二平面的方向对待检测样品及第一承载基体进行切割得到具有失效点以及位置标记且底部附着有第一承载基体切割后剩余部分的立体透射电镜样品;将立体透射电镜样品粘贴于第二承载基体上并进行减薄操作,得到具有失效点以及位置标记的平面透射电镜样品并染色。本发明的有益效果:解决BSI芯片的透射电镜样品无法有效染色的问题。
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本发明公开了一种地下核电站密封隔离系统可靠性评估方法,包括:1)利用计算机建立密封隔离系统失效故障树框架模型,包括最顶层的地下核电站密封隔离系统失效事件,中间层的设备、部件、功能的失效事件和最底层的始发事件;2)确定所有始发事件的失效概率、相依故障的失效概率、人因失误概率;3)通过逻辑门将模型中相邻层级的事件连接;4)利用概率安全分析软件,计算地下核电站密封隔离系统的失效概率以及每一项始发事件的概率重要度,概率重要度中最大值对应的始发事件即为整个地下核电站密封隔离系统的薄弱环节。本发明通过定量分析地下核电站密封隔离系统可靠性,为大规模放射性物质释放概率评估提供有效数据。
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本发明公开了一种基于非精确定位的透射电镜样品制备方法,属于半导体技术领域。所述方法包括:提供失效分析芯片,对失效分析芯片中的失效点进行定位并标记得到标记区域;在标记区域的一侧切割第一楔形空洞,并对第一楔形空洞中靠近标记区域的截面进行减薄直至观察到失效点;在观察到失效点的截面上形成保护层;在标记区域的另一侧切割第二楔形空洞,并对第二楔形空洞中靠近标记区域的截面进行减薄直至得到预设厚度的初样;对初样的底部进行U形切断后进行减薄,得到透射电镜样品。本发明中的方法,能够有效的避免失效点的误切,以及已切到失效点的一面在后续工艺中被损伤或者溅脏,从而提高了制样成功率,改善了观察结果。
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一种Linux网络设备动态标记RTP流量的方法,当SIP?ALG检测到新的RTP流时,调用RTP流量标记模块提供的添加规则接口,RTP流量标记模块在Netfilter中增加与新的RTP流对应的规则,对通过网络设备转发的流量进行标记;当SIP?ALG检测到失效的RTP流时,调用RTP流量标记模块提供的删除规则接口,RTP流量标记模块删除Netfilter中与失效的RTP流对应的规则,防止RTP流量被错误标记;所述RTP流量标记模块还负责维护RTP流识别信息、标记值及对应的CALL-ID记录。本发明所述的Linux网络设备动态标记RTP流量的方法,Linux网络设备能够及时有效地标记RTP流量,从而及时有效地根据该标记采用对应的QoS策略。
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本实用新型公开一种用于尿素罐总成解冻试验的设备,包括解冻台和温度箱;所述解冻台上分别设有循环热水输送泵、尿素抽取泵和控制面板,所述温度箱内设置有尿素罐总成,所述尿素罐总成上设有加热管,所述加热管的端部设有出水口、进水口和吸尿素口分别连接循环热水输送泵和尿素抽取泵;所述加热管靠近所述出水口、进水口和吸尿素口的一端设有传感器阵列,所述传感器阵列连接所述控制面板;本设备通过所述解冻台提供循环热水为所述温度箱中的尿素罐总成进行解冻,能够模拟整车在冬季实际过程中的解冻情况,预测和分析解冻能力,减少或消除整车在冬季寒区实际过程中出现尿素罐总成解冻失效故障,更好的服务于整车的开发。
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一种适用于同步数字系列系统的支路单元保护方法,该方法选择环型拓扑结构中多个连接单元之一作为保护连接单元,主备用交叉连接单元检测来自支路单元的告警信号线,一旦检测到来自某个支路单元的告警信号,则主备用交叉连接单元确定失效支路单元与保护支路单元的位置;主备用交叉连接单元以控制线信号控制保护连接单元和失效支路单元对应连接单元内的二选一选择器动作,将失效支路单元所对应的连接单元的输入输出信号倒换到保护支路单元。使用本发明的方法可以实现保护连接单元与保护支路单元位置的灵活设置,实现保护连接单元与工作连接单元的一致性,降低系统成本。
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本发明提供一种叉指状栅GOI结构失效点定位方法,包括:提供集成电路芯片样品;逐层剥离集成电路各层直至暴露出源极/漏极接触顶部;刻蚀去除源极/漏极接触中的导电材料;采用电压衬度分析法,利用聚焦离子束(FIB)切割的方法,逐步定位栅极氧化层的失效点。通过去除源极/漏极接触中的导电金属,有效规避了FIB切割时源极/漏极接触(S/D CT)对电压衬度的干扰,进而实现栅极氧化层的漏电点(失效点)的精确定位,提高栅极氧化层可靠性失效分析的成功率。
本发明公开了一种金属化膜电容器在交直流复合电压下劣化机理的解耦方法,属于电力设备测试技术领域。本发明通过对金属化膜电容器及与金属化膜电容器相同参数的导线电容,进行老化试验对比,解耦出电化学腐蚀和热效应、以及自愈现象所造成的金属化膜电容器劣化,解耦方法简单易行,有助于准确分析金属化膜电容器的失效原因,指导电容器的设计和应用方法,以及电容器在工程应用中的可靠性和寿命预测,进而保证换流器的长期稳定运行。本发明可以广泛应用于直流输电换流阀、风电换流器等设备中的直流支撑电容,实用性强。
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本发明提供了一种制备透射电镜样品的方法,包括:提供待观测芯片,所述待观测芯片包含一待观测区域;对所述待观测芯片的正面和/或背面进行减薄,得到初样;将一空心环固定在所述初样正面,所述待观测区域位于所述空心环内;通过干法刻蚀对所述初样进行减薄,得到透射电镜样品。在本发明提供的制备透射电镜样品的方法中,将一空心环固定在减薄处理后的初样上,通过空心环来确定待观测区域,再通过干法刻蚀所述减薄后的初样,从而制备成适合透射电镜观测的样品,形成超大面积的观测区域,满足相关案例需求,填补失效分析技术空白,提高工作效率。
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一种提高电能变换装置功率密度的方法。本发明公开了一种基于热平衡分析的IGBT参数尽限使用设计方法,根据IGBT热击穿失效机理,采用建立的IGBT电热模型仿真得到在给定参数条件下的导通功耗、开关功耗和断态功耗的温度曲线,相加得到IGBT总功耗的温度曲线,由结-壳稳态热阻得到传热功耗曲线,联立IGBT总功耗曲线和传热功耗曲线进行热平衡分析,两条曲线相切时的结温为IGBT极限结温,对应的参数值即为此电路条件下的尽限使用值。本发明所提出的IGBT参数尽限使用设计方法原理清晰,操作性强,减小了实际测试工作量,做到了参数尽限使用的精确量化,提高了装置的功率密度。
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本发明涉及半导体失效分析技术领域,尤其涉及一种栅氧化层漏电点的定位方法,应用于一包括栅氧化层的半导体结构,所述栅氧化层上方沉积有多晶硅栅、硅化物层和金属互连层,且所述栅氧化层中包括一个或多个漏电点,所述定位方法包括:步骤S1,对所述半导体结构进行漏电点粗定位,以在所述栅氧化层上方定位出包括所述失效点的热点区域;步骤S2,去除所述金属互连层和所述硅化物层,以暴露所述多晶硅栅;步骤S3,对应所述热点区域在所述多晶硅栅上方形成金属层区域;步骤S4,采用电压对比工艺对所述多晶硅栅上方的所述金属层区域进行测试,正对所述漏电点的所述金属层区域在所述电压对比工艺下呈现高于其他区域的亮度,从而定位出所述漏电点。
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本发明公开了一种血库输血管理系统,包括血液出入库管理模块、血库预警模块、输血检验模块、交叉配血模块、计费模块、异常处理模块和统计分析模块;血液出入库管理模块,用于医院端定血采购管理、血液入库和血液出库管理;血库预警模块,用于监控血液库存,根据设定的阈值,在有效期内对血液进行检查,如果发现有失效的血液制品,则进行预警提醒。本发明可以有效防止差错率发生,提高血库的管理工作,加强对临床输血关键环节的监控,确保输血过程的质量控制,提高了科室管理水平,降低了输血过程中可能导致的差错,提高了医院输血管理质量水平。
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本发明公开了一种基于裂缝宽度的在役无砟轨道结构可靠性评估方法,具体步骤包括:建立无砟轨道结构裂缝宽度评估的功能函数G(X)=wlim‑w;采用数理统计方法统计功能函数中随机变量的概率分布和统计参数,其中在役无砟轨道结构中受拉钢筋实际应力的概率分布和统计参数根据监测数据分析得到;计算无砟轨道结构裂缝宽度失效概率Pf=P[G(X)<0],换算成可靠指标β=Φ‑1(1‑Pf),将计算分析得出的无砟轨道结构服役状态可靠指标与设计可靠指标进行比较。本发明的基于裂缝宽度的在役无砟轨道结构可靠性评估方法,能够基于科学的监测数据实现在概率意义上精确定量化无砟轨道结构的可靠性。
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本发明提供一种智能机械密封系统,包括泵盖、端盖和泵轴,泵轴与泵盖及端盖配合围成环形密封腔,密封腔内设有位移传感器、温度传感器、弹簧座、弹簧、动环和静环,位移传感器和温度传感器均固定在泵盖上,弹簧与动环之间设有压力传感器,动环的右端面上设有凸台,静环左端面与凸台的端面贴合,静环的右端固定在端盖上,静环左端面上设有一圈凹槽,凹槽内设置有渗水探头。本发明的有益效果:本发明通过位移传感器和温度传感器实时监测动环的位移及密封腔内的温度,并配合压力传感器监测弹簧对动环的压力,可对密封腔内机械密封系统的运行情况及预期使用寿命进行智能分析和评估,从而避免因机械密封系统失效而导致离心泵失效的问题。
本发明公开了一种基于FDS‑FDAT的商用车冷却模块加速耐久试验方法,基于振动加速度传感器在实车道路试验中获取的冷却模块振动响应信号,根据冷却模块模态特征及应力分析结果,定位失效风险路况。通过疲劳损伤理论计算获得保留失效风险路况的信号特征分量,进而完成加速度功率谱密度PSD编辑;试验测试技术与信号处理技术紧密结合,其中实验测试得到准确的,包含多种路况信息的真实信号,运用多种算法将这些信号的针对特性,对信号进行计算筛选判断振源,进一步完成加速试验,完成台架模拟试验。本发明解决道路模拟试验中的多因素干扰问题,且有效复现冷却模块道路试验中的损伤破坏形式,并实现缩短室内台架试验的试验周期。
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本发明公开了一种乳化器连续运行安全监控方法,步骤为:①以乳化器搅拌室的上、下法兰处作为振动测量点,实时采集同一平面上的二个相互垂直的振动信号,并实时采集物料进、出口处的温度信号;②利用振动信号分析理论和方法,对上述采集到的数据实时进行连续计算和分析,分别得到振动特征指标和温度特征指标;③将步骤②获得的数据与其对应的安全允许极限值进行逻辑对比,当超过其安全范围时报警或紧急停止生产线。采用本发明可以对乳化器方便地实施长期、连续、可靠的远程安全监测,可及时发现其故障或预测零部件失效,尽可能避免意外爆炸等恶性事故出现的方法。本发明可保证监测的实时性和数据完整性,提高设备安全性,降低人员操作的危险性。
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本申请公开了一种芯片管理方法和系统,将晶圆中的多个管芯分别与其对应的身份信息关联,在晶圆测试过程采集晶圆中的多个管芯的第一测试数据,在芯片测试过程采集芯片的第二测试数据,芯片内封装有相应的所述管芯,最后根据封装在芯片内的管芯的身份信息将第二测试数据与第一测试数据整合,得到追溯数据库,在失效分析时可以根据待分析芯片的身份信息查找追溯数据库得到该芯片的测试数据,通过在芯片测试数据追溯中设计标记信息,有利于节省了数据追溯时间和追溯成本,提高数据追溯的效率。
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本发明涉及一种区分PMOS栅极与源漏极或N阱之间漏电的方法,所述方法包括如下步骤:使用纳米点针对失效PMOS进行2针漏电测试,其中一针扎在栅极上,另一针扎在N阱上,从而测量栅极到N阱是否存在漏电,得到电流‑电压曲线图。如果所述电流‑电压曲线为正比斜线,则栅极与N阱之间存在漏电;如果所述电流‑电压曲线为二极管开启曲线,则栅极到源漏极短路。本发明的区分PMOS栅极与源漏极或N阱之间漏电的新方法,能够解决同类型案例分析技术难题,提高失效分析工作成功率,节约人力成本和机台使用时间。
本发明属于功能纳米复合界面材料制备领域,特别涉及一种类项链状MoS2/SnO2/CNF多功能复合界面材料的制备方法。本发明包括原位形核复合制备MoS2/SnO2/CNF(二硫化钼/二氧化锡/碳纤维)功能材料的步骤。以丙酮为例,证明了该纳米复合材料对丙酮气体具有良好的响应性。该纳米复合材料同时具备良好的润滑减摩稳定性能,对PAO4基础油的润滑减摩性能提升非常显著,对5W30商用润滑油在负荷由100N增加至250N时,摩擦系数亦能明显降低。本发明技术方案制备原料易得,工艺简单,成本低廉,环境友好,适合大批量制备。既适用于气体探测、润滑减摩领域,同时也适用于两者交叉综合的润滑工况失效的分析预警。
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本发明实施例提供一种基于自动驾驶AEB的场景定位方法和装置,基于AEB的工作原理与机制,分析并比较实车路测采集回来的数据,得出一种方法,辅助定位AEB做动场景,提高AEB失效场景定位的准确度,提高人工效率,减少测试成本,并希望能以此推动AEB规则的制定与改进。不需要模拟特定的场景对AEB进行专项测试,使用实车采集回来的数据,结合实际信号值,根据已有的逻辑统计、计算,定位可能存在的AEB失效场景,本方法可提高数据的重复使用率,提高测试效率,降低人力成本,为AEB的数据分析提供支持。
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本发明提供了一种芳纶特纺材料高温老化寿命在线无损评估方法,包括以下步骤:(1)制备两组芳纶面料样品;(2)测定第一组芳纶面料样品不同高温老化时间下的断裂强力值;(3)采用色差仪对第二组样品中各芳纶面料样品进行色度特征值测量,与原始样品作对比计算色差值,根据色差值与断裂强力关系绘制标准曲线,计算拟合出断裂强力值色差分析方程,通过方程得出芳纶面料失效时色差临界值;(4)在外场用色差仪扫描待测芳纶面料,对比色差临界值判定其是否失效,若未失效,将待测样品色差值代入断裂强力值色差分析方程,计算出待测样品断裂强力值,对照标准数据即得待测样品剩余高温老化寿命时间。本发明具有测试方便、成本低、效率高等特点。
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本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种提高透射电镜图像质量的平面样品制备方法。首先通过电性测试方法获取失效点位置,之后根据失效点位置于待测样品正面形成第一开口、于待测样品背面形成第二开口;并继续将待测样品放置于沸腾的胆碱配比溶液中保持5-10min,以彻底去除第二开口底部的硅衬底;然后通过刻蚀工艺去除第一开口下方的绝缘层和第二多晶硅层;最后利用透射电镜图像来分析失效点。通过本方法使失效区域多晶硅透射电镜图像不受非缺陷区域的干扰,得到一个较为均匀清晰的待测样品的透射电镜图像,从而更容易发现缺陷,以进一步提高器件缺陷分析的效率。
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本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种制备TEM样品的方法,通过在获取失效芯片的失效点位置以及非失效芯片的失效分析参考点的位置后,将失效芯片沿垂直于选定侧面的方向抛光至失效点的附近,并将非失效芯片沿垂直于该选定侧面的方向抛光至失效分析参考点的附近,之后将失效芯片的正面和非失效芯片的正面粘合在一起形成一待测结构,并将待测结构的抛光面朝上放入FIB机台进行TEM样品的制备工艺,从而可以快速的制备出TEM样品,且可以在拍摄高分辨率图片时找到最合适的厚度,确保高分辨率图片的质量。
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本发明涉及一种超薄平面透射电镜样品的制备方法。包括以下步骤:提供具有待观测的失效分析点的芯片;对芯片进行截取得到TEM样品;在TEM样品上靠近失效分析点处形成停止标记,并研磨TEM样品的横截面至停止标记;在TEM样品横截面的失效分析点上镀Pt保护层;在第二薄膜层上靠近失效分析点处挖凹坑,并减薄第二薄膜层;将TEM样品放置在沸腾的胆碱配比溶液中反应;采用聚焦离子束对TEM样品进行切断,得到目标层样品。本发明的一种超薄平面透射电镜样品的制备方法,既可以准确定位样品,又可以得到厚度在十几个纳米的TEM目标层样品,避免了平面透射电镜受到前层多晶硅或者后层多晶硅对待观察区域的干扰,大大提高了失效分析中判断定位的准确性。
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本发明公开了一种电源板卡试验数据自动处理方法及系统。其中,电源板卡试验数据自动处理方法应用于上位机,该试验数据自动处理方法包括如下步骤:根据试验执行指令获取预先编码的各被测电源板卡的试验状态信息;根据试验执行指令对各被测电源板卡的试验状态信息进行数据分析,该数据分析包括失效被测电源板卡的试验时长、失效被测电源板卡的数量、未失效电源板卡的伪寿命t及所有被测电源板卡的平均故障间隔时间MTBF点估计值和MTBF的置信下限MTBFL;根据MTBF点估计值、MTBF的置信下限MTBFL和伪寿命t分析所有被测电源板卡的可靠性评估结果。本发明直接利用上位机对试验数据进行自动分析处理,能有效提高数据处理效率。
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本实用新型公开了一种用于炸药生产线中的乳化器安全监控装置。振动传感器分别位于乳化器搅拌室上、下法兰圆周外表面,且位于同一法兰上的振动传感器在同一平面上相互垂直,振动传感器监测乳化器旋转径向振动信号,并将其传送到控制器;温度传感器分别位于物料进、出口管道上,用于检测物料进、出口处的温度信号,并传送到控制器;控制器对接收信号进行数据处理,控制连锁装置与控制器连接,根据控制器的指令控制生产线停车。本实用新型通过对有限个关键测点的振动和温度监测,分析乳化器转子和轴承的机械故障及异物混入时的状态,对乳化器实施长期、可靠的远程在线安全监测,及时发现乳化器故障或预测零部件失效前隐患,以避免恶性事故的出现。
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本申请涉及一种发酵面包生产用冷冻库温度识别系统,涉及了食品冷冻设备的领域,解决了多个冻库位置较为离散,无法集中监控管理,维修技术人员与巡检人员对冻库实际温度状态也不能快速了解,存在冻库控温失效的缺陷,包括配套用户终端、管理系统服务器、与管理系统服务器连接的多路记录仪、分布于多个冷冻库内的检测终端、网络传输模块,配套用户终端与管理系统服务器通过现场总线进行通讯,检测终端与多路记录仪均通过网络传输模块进行通讯,本申请实现了自动检测冷冻库的各项数据指标,维修与冻库巡检人员可实时的监控管理分析各个冻库的在线运行状态,减少因冷冻库温度变化导致物料受污染的情况,保障发酵面包的生产质量和口感。
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