光谱型椭偏仪
一、简介
UVISEL光谱型相调制椭圆偏振仪(SPME)是一款的仪器，它采用光弹性晶体来调制偏振光，而不是传统椭偏技术中的机械偏光装置。
与传统椭偏仪相比，UVISEL光谱型椭偏仪能够在全谱范围内测椭偏角(Y,D)，从而可以对透明衬底、超薄薄膜和折射率接近的样品进行特性分析。
相调制技术的原理，使得UVISEL光谱型椭偏仪能够进行参数测量，包括较为化度、各向异性以及Mueller矩阵元素的确定。高达1毫秒/每数据点的快速数据采集速率，使得UVISEL成为动态研究和液态表面测量的可靠的解决方案。
UVISEL是一台多功能的光谱型椭偏仪。它覆盖了190nm到2100nm的宽光谱范围，而且提供了一系列的自动选件和附件来增强系统的功能、满足您的实验需求。模块化的设计使得UVISEL配置灵活，可以离线、在线甚至为减小占地面积和满足超净间要求而集成到一个机柜中。
二、技术特点
光谱型相调制椭圆偏振仪
精度和灵敏度良好
宽光谱范围：142到2100纳米
模块化设计
包含成熟的光谱型椭圆偏振仪软件包
自动平台样品扫描成像、变温台、
电化学反应池、液体池、密封池等多种附件
三、主要应用
测量厚度、反射率和透射率、折射率等光学常数
单层膜或多层膜叠加
单一膜层
液态膜层
四、技术能力
光谱波长范围：190-2100nm
光源：75WXe灯
光斑大小：标配<3mm，小光斑50μm可选
探测器：分别针对紫外，可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器
自动样品台尺寸：6/8寸多种样品台可选
自动量角器：变角范围35°-90°，全自动调整，小步长0.01°
五、应用
半导体薄膜：光刻胶、工艺薄膜、介电材料
液晶显示：OLED、玻璃厚度、ITO
光学镀膜：硬涂层厚度、减反涂层
高分子薄膜：PI、PC
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