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内部X光透视仪

内部X光透视仪

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规格/型号:RE2300
品牌:睿奥
应用领域:分析检测
产地:广东 - 东莞
厂家/供应商:睿奥检测设备(东莞)有限公司
咨询电话::13138825172(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-02
级别:待认证

内部X光透视仪说明介绍

睿奥


工作原理

RE2300基于X射线穿透与衰减原理实现无损检测:


X射线发射:设备搭载微焦点X射线管,发射高能量、高分辨率的X射线束,穿透被测电子元器件。

图像采集:射线穿透物体后,由数字平板探测器接收衰减信号,转换为数字图像。

智能分析:内置AI算法对图像进行增强、滤波与缺陷识别,自动标记气孔、裂纹、虚焊等缺陷位置与尺寸。

三维成像:支持CT扫描重建功能,通过高精度旋转平台生成器件内部三维立体图像,实现缺陷精准定位。


应用范围


半导体制造:检测晶圆通孔、封装器件内部结构及焊接缺陷,确保芯片可靠性。

电子元器件:分析BGA焊球、QFN封装等工艺缺陷,验证2.5D/3D封装互连结构完整性。

电池检测:识别电池极片内部裂纹、夹杂物,优化电池安全性能。

精密制造:监测PCB板虚焊、SMT贴片气泡及连接器缺陷,提升产品合格率。

科研教学:高校及研究所用于材料内部结构分析与失效研究,支持教学实验与研发测试。


产品技术参数


X射线源:电压80-160kV可调,功率15W,微焦点尺寸5μm,穿透材70-100mm。

成像系统:数字平板探测器,分辨率2048×2048,像素尺寸125μm,帧率30FPS,支持40Lp/cm空间分辨率。

检测能力:最小可识别缺陷0.5μm,支持2D/3D成像及CT扫描重建。

载物平台:XYZ三轴电动控制,Z轴行程450mm,支持多角度动态拍摄与十字光标精准定位。

安全防护:辐射泄漏剂量<1μSv/h,配备玻璃、联锁装置与剂量监控,符合CE/FDA标准。

设备尺寸:800×700×1700mm³,重量1000kg,电源要求AC220V±10%,50/60Hz,功耗≤3kW。


产品特点


高精度成像:5μm焦点尺寸,清晰显示微米级缺陷,满足半导体行业严苛标准。

智能分析系统:内置AI算法自动识别21类缺陷,误判率<1%,支持气孔占比测算与图像拼接。

自动化操作:XYZ三轴协同,Z轴物理放大倍率可调,操作台支持坐/站立多角度调节。

安全防护设计:五重辐射防护机制,通过国际安全认证,确保操作人员健康。

模块化扩展性:光源与探测器可快速更换,支持MES系统对接与AOI自动分拣模块扩展。

多功能成像模式:支持多能量融合拍摄、大面积产品图片拼接及三维断层扫描(CT重建)。

高效检测效率:300mm晶圆检测周期≤3分钟/片,适合大规模生产线集成。

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