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双室热蒸发镀膜设备

双室热蒸发镀膜设备

浏览量 409
规格/型号:暂无
品牌:科诚
应用领域:材料制备
产地:辽宁 - 沈阳
厂家/供应商:沈阳科诚真空技术有限公司
咨询电话::13998121527(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-03-28
级别:待认证

双室热蒸发镀膜设备说明介绍

双室热蒸发镀膜设备

双室热蒸发镀膜设备是一种采用物理气相沉积(PVD)技术的精密镀膜系统,通过独立双腔室设计实现高效连续的薄膜制备。该设备主要应用于光学薄膜、电子器件、功能涂层等领域。

该设备由金属热蒸发沉积室和有机热蒸发沉积室组成,包含4个金属蒸发源8个有机蒸发源。金属室附加一个手套箱,可使蒸发材料在保护气体的环境下放入蒸发源,也可使蒸镀好的样品在此取出。

样品通过小车在两个真空室之间实现传递。

每次可对四块样品进行蒸镀,并可在线掩膜两次。

每个蒸发源有独立挡板,防止交叉污染。
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