本发明公开了一种掺Mn的钛酸铋钠-钛酸钡薄膜的制备方法，其制备方法如下：以高纯Bi2O3,Na2CO3,BaCO3,TiO2为原料，将原料在无水乙醇中用锆球湿磨、烘干、压片，在一定大气压下锻烧，制得
钙钛矿结构粉料；将所得钙钛矿结构粉料二次球磨烘干后压片，并于1200℃下保温1-4小时烧结得到靶材；装好靶材和衬底，调节靶基距、溅射温度、功率、频率；溅射完毕在原位退火，保持氧气压并自然冷却至室温，制得掺Mn的钛酸铋钠-钛酸钡薄膜。本发明可以通过工艺参数调控薄膜的取向和厚度，制备的无
铅压电薄膜显示出较好的铁电与介电性能，具有操作方便，重复性好的优点。
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来源：北方有色网
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