本发明属于一种微流道器件，具体涉及一种集成温度传感器的微流道散热器。包括微流道盒体、键合层、微流道盖体、冷却液入口、冷却液出口、微流道沟槽和温度传感器。本发明实现温度传感器在微流道散热器内部一体化集成，集成的温度传感器位置布放灵活，实现多点位、高空间分辨率的实时监测，以提高微流道散热器可靠性，进而优化设计散热器；与外接温度传感器相比，该方案获得的温度受环境影响小，结果更能精准的反映流道内部状况，提高了微流道散热器整体可靠性。还采用键合层隔开冷却液与温度传感器的直接接触，使得温度传感器不会被冷却液直接接触影响，导致温度传感器的稳定性和精确性降低，甚至于温度传感器短路失效。
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来源：北方有色网
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