本发明属于光纤光栅倾角传感器设计技术领域，公开了一种真空封装的光纤光栅倾角传感、制造方法及应用，所述真空封装的光纤光栅倾角传感器，包括应变悬臂梁、摆锤、测量光纤光栅、传感器瓶盖以及传感器；所述真空封装的光纤光栅倾角传感器的制造方法包括：制作传感器应变悬臂梁；在应变悬臂梁上对光纤光栅进行封装；传感器整体的拼装与封接。本发明采用玻璃封装的光纤光栅传感器，外壳制造相比于传统金属价格更加低廉，在制作工艺上更易于将外壳内部环境制成真空，防止内部基片发生腐蚀，耐久性强；在封装工艺上，将环氧树脂替换成为封接玻璃粉；光纤光栅元件不会因为封装体的老化脱落粘贴失效而损坏；并且在测量结构里无需再添加温度补偿光栅。
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来源：北方有色网
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