本发明公开了一种精准控制金属下沉的设备，包括：支撑架、加热装置、探针、和电性监控量测控制模块，所述支撑架设置在所述加热装置上，所述支撑架用于承接晶圆，所述热板加热控制单元控制连接于所述热板，所述探针具有三个针脚，分别为S端、D端和G端，所述电性监控量测控制模块控制连接于所述探针，所述S端用于接地，所述电性监控量测控制模块用于在所述D端输出固定电压偏置，所述电性监控量测控制模块用于在所述G端输出固定偏压装置。本发明通过实时监控电流，以在线电流的指标作为回火终点，实现回火过程中对金属下沉的精准控制，提升产品的性能，避免发现电性失效的周期长。
声明：
“精准控制金属下沉的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
912
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
