本发明公开一种敏感膜、MEMS麦克风及其制作方法，该敏感膜包括感测部，用于感测振动信号；连接部，所述连接部环绕所述感测部设置，并用于固定所述感测部；动作部，所述动作部连接所述感测部和所述连接部，所述动作部的刚度小于所述感测部的刚度和/或所述连接部的刚度；以及补强部，所述补强部设于所述动作部。本发明技术方案旨在提高敏感膜的结构强度，降低敏感膜破裂失效的概率。
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“敏感膜、MEMS麦克风及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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