本发明涉及MEMS传感器,具体是一种MEMS传感器在应用环境下使用可靠度的确定方法。确定了MEMS传感器在应用环境下的可靠性指标,步骤如下:1)、测定MEMS传感器能正常工作的温度、振动、冲击三参数的极限应力;2)、统计推断与MEMS传感器温度、振动、冲击三参数极限应力对应的分布函数;3)、统计推断与具体应用环境温度、振动、冲击三参数应力变化对应的分布函数;4)、确定具体应用环境中温度、振动、冲击三参数应力变化分别能引起MEMS传感器失效的概率;5)、确定具体应用环境中MEMS传感器的使用可靠度。以MEMS传感器在具体应用环境中正常工作的总概率P(X)作为MEMS传感器的可靠性指标,将MEMS传感器的可靠性进行量化标定,表明了MEMS传感器在应用环境下的使用可靠度。
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来源：北方有色网
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