一种用于获取并转换红外信号的光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器,包括按阵列分布的微梁单元,微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板,热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧,本发明的关键在于:整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构;热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布;红外吸收板与变形梁连接,支撑梁与热隔高梁连接;每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成;所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。本发明不仅工艺实现简单,而且器件不发生粘连、不容易失效和破坏,对器件的真空度要求也大幅降低。无硅衬底部分反射红外线,更多的能量直接到达探测单元,使探测更灵敏。
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来源：北方有色网
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