本发明提供了一种平面透射电镜样品的制备方法，包括：制备SELA加工所需的第一样品，所述第一样品上设有目标区域；使用SELA对所述第一样品进行裂片，形成包括所述目标区域的第二样品；将所述第二样品切割和减薄形成TEM样品。本发明的技术方案成本较低，简便易行，大大提高了制备平面TEM样品的速度和准确性，对失效分析工作有极大的帮助。
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“平面透射电镜样品的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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