本发明涉及材料生产技术领域，具体涉及一种磁控溅射用
钙钛矿型铁酸钐靶材的制备方法；本发明在球磨过程中粘合剂的使用能有效地减小压片过程中所得压片出现开裂的几率，保证了所得压片的品质；再者，本发明中通过滚动造粒方式进行造粒，能有效地增强混合粉体的流动性，便于后续将混分粉体均匀且充实地填充在磨具中，从而有效地提高了靶材素坯的成型密度；另外，在造粒过程中，将混合粉体至于微波马弗炉中能对混合粉体进行充分的加热，有效地提高了脱胶的效率及效果，也消除了粘接剂对所制备的靶材质量及性能的影响；采用本发明制备的钙钛矿型铁酸钐靶材不仅致密度十分地优异，而且其还具有优良的抗弯强度。
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“磁控溅射用钙钛矿型铁酸钐靶材的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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