本发明公开了一种真空获得系统,包括分子泵,分子泵的入口通过入口阀与反应室连接,分子泵的出口通过排出阀与
真空泵连接,还包括分子泵保护装置,根据检测到的报警信号,控制关闭分子泵的入口阀或排出阀;分子泵保护装置包括报警装置,用于检测分子泵入口压力、出口压力及系统中各设备工作情况,当压力超过设定值或设备工作异常时,由分子泵保护控制装置通过互锁电路控制关闭入口阀或排出阀,保护分子泵不受损坏;还包括互锁屏蔽电路,可使互锁电路失效,并由控制信号单独控制入口阀或排出阀。本发明涉及微电子领域,用于真空获得系统分子泵的安全运行保护措施。
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来源：北方有色网
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