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恒温电迁移测试中的电流加速因子评估方法

867   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:00:20
本发明提供了一种恒温电迁移测试中的电流加速因子评估方法,包括:第一步骤:确定一组测试温度和载台温度,以得出金属测试结构的经待测金属线的电流;第二步骤:固定测试温度,通过载台温度调节的方式来改变载台温度,得到经待测金属线的调节后电流;重复第一步骤和第二步骤以得到多组数据,其中每组数据包括电流数据和失效寿命数据;第三步骤:利用所述多组数据,通过金属寿命布莱克方程,计算出该金属测试结构的电流加速因子;第四步骤:利用电流加速因子,结合自校准式恒温电迁移活化能的评估方法,实现在恒温电迁移测试下的金属寿命计算。
声明:
“恒温电迁移测试中的电流加速因子评估方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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