本发明公开了一种利用Excel实现晶圆测试Summary标准化的方法，首先每个产品建立明确的失效项目表格和标准化的测试图形母版（含标准参考点）；然后利用Excel?VBA编程将探针台原始文件转换成测试图形（含确定的参考点）；再次利用Excel?VBA编程，计算参考点和标准参考点之间的差值，实现原始测试图形和标准化测试图形母版的参考点的重合，同时进行相关数据处理，生成和标准化测试图形母版一致的图形；最后根据失效项目表格对批量处理后的标准化图形进行Summary信息提取统计，最终实现晶圆测试Summary的标准化。本发明实现了测试总数、失效项目等的严格统一，替换传统的风格各异的Summary格式，适用于不同类型探针台生成的测试图形或不同测试代工厂提供的测试图形等。
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来源：北方有色网
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