本发明属于压电涂层材料技术领域，具体涉及一种螺栓预紧力测试用带压电传感器智能垫片及其制备方法，包括垫片及依次设置于垫片表面的垫片加硬层、ZnO压电功能复合层、耐磨导电电极层构成；其中垫片加硬层为CrN陶瓷涂层，ZnO压电功能复合层由诱导结晶层、ZnO压电层及保护层构成，耐磨导电电极层为Cr/CrN多层膜构成。本发明首次将传感器制备于垫片表面，实现在垫片上实现超声检测；传感器采用多层结构，功能上实现使涂层具有比常规压电涂层更好的硬度、耐磨和韧性；具有抗腐蚀、高耐磨和高韧性的特点，可以保证传感器长期稳定的在垫片表面工作，减少腐蚀等导致的失效可能性。
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来源：北方有色网
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