本发明提出一种多通道显微镜半导体综合测试系统，是将红外发光显微技术（EMMI）、激光束诱导电阻率变化测试技术（OBIRCH）、微探针检测技术、扫描电子显微镜技术（SEM）结合在一起形成一种多通道显微镜半导体综合测试系统。利用OBIRCH方法，可以有效地对电路中缺陷定位，如线条中的空洞、通孔下的空洞、通孔底部高阻区等；也能有效的检测短路或漏电，是发光显微技术的有力补充；微探针检测技术是以微探针快捷方便地获取IC内部电参数值，如工作点电压、电流、伏安特性曲线等。本系统可进行多种失效测试技术，减少测试设备，测试步骤少，操作简单、方便。
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来源：北方有色网
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