本发明涉及ESD设备技术领域，更具体地说，它涉及一种ESD设备运行状况监测装置及其监测方法，其技术方案要点是：一种ESD设备运行状况监测装置，其包括检测单元；所述检测单元用于根据ESD设备的电容器充放电过程中的电压，采用预设的判定规则判定ESD设备的运行是否正常。根据本发明提供的技术方案,由于检测单元可以根据ESD设备的电容器充放电过程中的电压，采用预设的判定规则判定ESD设备的运行是否正常，从而作业人员在ESD设备工作时可以随时了解ESD设备的运行状况，当ESD设备运行不正常时，可以及时对ESD设备进行维修或更换，可有效防止ESD设备静电防护失效的情况发生。
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“ESD设备运行状况监测装置及其监测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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