本实用新型是以Si-MOS型Al2O3湿度传感器 为测湿元件的湿度测量仪。它采用α相Al2O3作为 MOS结构的氧化层并以正交分量法电容测量仪作为 二次仪表，可重复稳定地测量-80℃～+10℃露点 范围的绝对湿度和0—100％的相对湿度。仪器读数 稳定，不发生长期漂移，可用于工业过程的湿度监 控，环境湿度的检测与控制，超纯气体中含水量的分 析测量，气密封装电子器件中湿度的检测及器件可 靠性和失效机理的研究等领域。
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来源：北方有色网
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