本实用新型涉及一种MEMS器件检测电路和设备，所述电路包括控制电路、MEMS驱动电路、第一采样电路和MEMS器件；所述控制电路的输出端与所述MEMS驱动电路的输入端连接，所述MEMS驱动电路的输出端与所述第一采样电路的输入端连接，所述第一采样电路的第一输出端与所述MEMS器件连接，所述第一采样电路的第二输出端与所述控制电路连接；所述第一采样电路用于在预设时间段内获取采样电压，并将所述采样电压传输给所述控制电路；所述控制电路用于根据所述采样电压和所述控制电路输出的驱动电压，判断MEMS器件是否失效。用此电路和方法检测MEMS器件时，无需借助外部测试设备，检测效率快；且此电路易于集成，成本较低，检测精度高。
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来源：北方有色网
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