本发明公开了一种检测
镍铂去除装置的方法,该方法包括:A、提供一表面形成氮化硅SiN的试验样品,使用镍铂去除装置对该试验样品进行镍铂去除工艺;B、使用光学测量工具检测SiN表面的杂质数量,如果杂质数量不符合工艺要求,则执行步骤C;如果杂质数量符合工艺要求,则结束流程;C、对该镍铂去除装置进行清洗,然后执行步骤A。使用表面形成氮化硅SiN的试验样品检测镍铂去除装置的方法,能够真实反映该镍铂去除装置的洁净度,因此可以及时对不符合工艺要求的镍铂去除装置加以调整,从源头避免失效成品的产生,从而节约大量成本和制造时间。
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来源：北方有色网
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