一种识别用于测量微电子特征所需尺寸的计量工具系统中的失效的方法,其中的每个计量工具运行多个配方以测量微电子特征所需尺寸,每个配方包括测量微电子特征的至少一个尺寸的一组指令。该系统包括存储有微电子特征尺寸测量中的失效的误差记录。该方法包括从上述的失效中确定由计量工具所使用的配方的误差的归一化数量、识别误差记录中具有最大归一化误差数量的一个或多个配方、在由计量工具执行的作业列表中识别所述具有最大归一化误差数量的配方以及从所述配方中确定一个或多个配方的误差的原因。然后改变具有最大归一化误差数量的配方以校正其中的误差,跟踪具有所述已经改变的一个或多个配方的计量工具作业以确定是否已经校正了误差原因。
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来源：北方有色网
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