本发明提供了一种聚焦离子束分析方法，包括，步骤一：选择待分析样品；步骤二：利用离子束刻蚀所述待分析样品，以获得切割截面；步骤三：利用电子束照射观察是否出现电荷沉积效应，当未出现电荷沉积效应时，获得电子束图像，当出现电荷沉积效应时，在所述切割截面的侧面上形成有机源层之后，重新获得电子束图像；步骤四：判断获得的电子束图像是否显示目标截面，当电子束图像显示非目标截面时，重复步骤二至步骤四，直至获得目标截面；当电子束图像显示为目标截面时，导出获得的电子束图像，并进行失效分析。本发明所述方法可避免电荷沉积效应对失效分析结果的影响。
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来源：北方有色网
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