本发明公开了一种深沟槽产品的物理分析结构，形成于划片槽区，由一系列宽度依次减少、且平行放置的分析沟槽组成，用于为深沟槽在分析时提供深度标记。本发明还公开了一种深沟槽产品的物理分析方法。本发明能在深沟槽产品的结构分析或失效分析时为深沟槽的不同深度位置实现准确定位，能够实现对深沟槽产品的质量进行准确和快速的分析，能够提高结构分析或失效分析的质量和效率，从而也能提高产品的生长质量和效率。本发明的物理分析结构并不需要占用
芯片区的面积，且物理分析结构的各分析沟槽采用和深沟槽的同一块掩膜板制作，工艺成本低。
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来源：北方有色网
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