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结合实体坐标的位失效侦测方法

1089   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:59:34
本发明公开了一种结合实体坐标的位失效侦测方法,在此方法中先取得一晶圆对位检测数据,其包括一晶圆内每一层的缺陷的影像和此缺陷的实体坐标;然后,进行一位失效侦测步骤,以得到晶圆内失效位的数字坐标,并转换此数字坐标为实体位置,且将实体位置重叠于实体坐标,以便快速得到失效位与缺陷之间的关联性。
声明:
“结合实体坐标的位失效侦测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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