本发明公开了一种力/热/电/磁多场耦合下测试金属薄膜失效行为的装置,内嵌电阻丝的加热台置于隔热台上方,加热台连接有电源,隔热台两端设置有对流循环冷却水;被测金属薄膜置于加热台上面,并在试样表面设置热电偶,纳米压入传动装置连接传送杆,纳米压入传送装置和被测金属薄膜之间的传送杆两侧分别安置隔热挡板,每块隔热挡板两侧设置循环冷却水,磁极置于隔热台两侧。本发明提高集成电路电子薄膜材料失效的预测与评价水平,操作简单,可较真实检测反映实际服役条件下微器件的失效性能。
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来源：北方有色网
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