本发明公开了一种基于纳米压入测试技术的超薄
铜膜疲劳失效预测方法，属于薄膜疲劳失效预测方法。本发明的超薄铜膜疲劳失效预测方法的具体步骤如下：采用磁控溅射技术制备组织均匀的铜薄膜；将薄膜放在纳米压痕仪上，设定载荷平均值、载荷幅值、加载频率后进行测试；测试并记录薄膜的存数刚度随时间的变化关系；然后分析实验结果，找出数据中存数刚度变化的转折点；得出铜薄膜发生疲劳失效的时间。本发明利用DMA组件实现基于纳米压入测试技术的超薄铜膜疲劳失效预测方法，该方法操作简单，结果准确有效，适应性强。
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“基于纳米压入测试技术的超薄铜膜疲劳失效预测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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