本实用新型公开了一种半导体失效分析探针台用摄像头安装装置，包括支架(1)和侧边摄像头(3)，侧边摄像头通过支架装在探针台机架(2)上，使侧边摄像头倾斜位于垂直摄像头(21)旁并面向探针；支架包括固定杆(11)、横向调节座(12)、纵向调节座(13)和连接座(14)；固定杆一端与横向调节座连接，另一端与探针台机架连接；纵向调节座一端可移动式装在横向调节座上，连接座可移动式装在纵向调节座上，纵向调节座与连接座的移动方向垂直；侧边摄像头可转动式装在连接座上。本实用新型能扩大摄像头对探针的观察视角，确保探针的正常使用，既能提高半导体
芯片失效分析的准确性，又能防止探针扎伤半导体芯片。
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来源：北方有色网
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