本发明公开了一种半导体晶圆载流子表面复合速率的定量成像表征方法，运用三通道函数发生器，其中的两个通道分别产生两个频率为f1和f2的正弦信号，共同驱动一个激光器使其发出调制激光束用来激励待测半导体晶圆，并在其中产生非平衡载流子；载流子辐射复合所发出的动态荧光信号的图像由CCD采样拍摄；函数发生器的第三个通道产生一个频率为|f1‑f2|的正弦信号作为参考信号，对CCD每个像素点在帧序列中形成的离散时域信号作数字锁相运算，将频率为|f1‑f2|的信号分量的幅度提取出来；通过分析不同频率下的幅度图像可以得到该晶圆的载流子表面复合速率定量图像，可为半导体生产线提供一种非接触、无损、定量、快速的晶圆表面电学质量评估与成像表征的方法。
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来源：北方有色网
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