本发明公开了一种OLED面板激光剥离装置，激光发射装置用于发射激光束；分束器将激光器发射的激光束分为第一激光束和第二激光束；第一激光束依次经过第一扩束器、第一整形器、转折聚焦组件后形成剥离用激光束，第二激光束由分束器分出后经反射器转折为与原光路平行的激光继续向前传播经第二扩束器及第二整形器后，再经分光聚焦组件后分为清洗用激光束和第三激光束，第三激光束进入整形折叠聚焦组件，转折后形成翘曲测量用激光束，垂直入射到衬底基板表面，用于做衬底基板的翘曲测量，本发明兼容大尺寸面板与小尺寸面板的激光无损剥离柔性基板的装置，可以避免在激光剥离过程中面板翘曲不平，基本表面污染造成的剥离能量不均匀及热积累的问题。
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来源：北方有色网
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