本发明公开了基于表面高度信息的陶瓷材料微观组织表征方法及系统，包括：对陶瓷及陶瓷基
复合材料进行切割取样后，通过对切割面进行预处理，获得陶瓷样品；采集陶瓷样品的待测微区表面的三维形貌信息，通过放大、校平等步骤进行处理后，获取表面三维形貌的高度信息；基于高度信息，生成待测微区表面的微观组织特征；本发明无需对不导电陶瓷基复合材料表面喷金/碳/铂、无需抽真空、避免了扫描电镜电子束与材料表面物质作用产生微损伤和反应，即可以通过无损方法获得陶瓷基复合材料微观组织结构表征，通过检测陶瓷组成相磨损高度信息差异并投射为二维图像，具有原理创新性以及良好的衬度和表征效率。
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来源：北方有色网
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