本发明公开了一种微束微区X射线探针分析仪,采用了X光管与聚焦毛细管的方式产生X射线对待检测样品微区进行特征X射线激发,所述分析仪主要包括:电子微动测量平台,用于对样品微区进行定位,获取样品微区的图像信息,XRF能谱仪实现样品的X射线检测,并将能谱曲线发送到PC机;PC上位机软件系统,通过相应的控制设备的控制实现谱线的分析,并获取分析后的结果。本发明实现了样品的无损检测,且检测时无须对样品进行表面导电处理,同时采用了激光定位系统实现了系统的自动定位,方便了用户的操作并节约了操作所需的时间。
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来源：北方有色网
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